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01 ·製造とパッケージ·★ 会員·12分で読めます EUVリソグラフィ — 13.5nmの光を作るという狂気 波長13.5nmの光は空気にもレンズにも吸収される。それでも半導体産業がこの光を選んだのはなぜか。スズプラズマ光源、レンズを1枚も使わない反射光学、そして「露光を4回重ねる」マルチパターニングとの損得勘定を、前提知識ゼロから解説する。